Las mediciones tridimensionales de micro y nano estructuras se están convirtiendo en tareas cruciales, siguiendo la continua miniaturización en la producción óptica y mecánica. Cuando hablamos de micro o nano CMMs de ultra alta precisión, es crucial el desarrollo de palpadores. Sebastian Buetefisch explicará el funcionamiento de varios micropalpadores desarrollados por el PTB, y las tecnologías de fabricación que se han utilizado.
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